半导体制造业的理想之选!新型梁式测力传感器“UWR”
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近几年,随着半导体市场不断增长,半导体行业对于许多种类的传感器需求不断增加。
用于测量力和重量的传感器—测力传感器便是其中之一。
硅树脂是制造测力传感器时不可或缺的材料。
硅树脂具有良好的耐热性、绝缘性和耐候性,因此得到广泛应用。在制造测力传感器时,硅树脂可用于电缆线、防潮涂层、固定导线和防振。
然而,在近来蓬勃发展的半导体制造领域中,这些硅树脂释放出的气体硅氧烷却引发了各种问题。通俗地说,硅氧烷是一种由硅原子与氧原子结合而成的聚合物,是一种极其稳定的物质。
如果硅氧烷被吸附在电气触点上,就会造成接触故障。此外,如果硅氧烷还吸附在了半导体曝光设备的透镜或硅晶片表面,则会大幅降低良品率。
因此,在半导体生产中使用不产生硅氧烷的设备至关重要。
新型测力传感器“UWR”就是一种解决方案!
UWR是一种横梁式测力传感器。经分析确认几乎未检测到硅氧烷气体,因此您可以放心使用。该传感器的容量为10 N,精度为 0.03%,固有频率为2.5 kHz,可以以较高的精度和较快的速度观察小容量。
● 晶片传送机器人的夹紧力管理
● 晶片抛光过程中的压力控制
● 芯片贴装机的负载控制
● 焊线过程中的压力控制
可用于多种用途。
因为我们公司自己生产传感器所需的应变发生体和应变片,所以可以承接制造小批量、客制化传感器的订单。
我们可以根据您的需求,更改传感器的容量、形状、尺寸,扩大其工作温度范围,制造不容易释放硅氧烷的版本等。如需了解更多信息,请联系我们。
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用测力传感器测量的荷重数据可以简单的用电脑取进去。FS10是内置放大器的测力仪。因为经由USB供给电源,所以可以简单地布线。可以简单监控数据并记录。小巧的手掌大小携带也很方便。FS10包含主机、传感器电缆1m(散线)、USB电缆1.8m(A-miniB型)、说明书。只需USB连接即可简单测量提供免费的测量软件。通过端子台连接传感器和FS10更方便。使用另售的CN92的话,连接会更方便。
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